表麵粗糙（cāo）度（dù）要求

精密零件加工的表麵粗糙度通常要求在低的數值（zhí）範圍內。在一些高（gāo）精（jīng）度（dù）的機械零件中，如航空發動機葉片、精密模（mó）具等（děng），表麵粗糙度 Ra 值（zhí）可（kě）能要求達到 0.1 - 0.8μm。這是因為較低（dī）的表麵粗糙度可以減小零件表（biǎo）麵的摩擦係數，摩擦力，提高零（líng）件的耐磨性（xìng）。例（lì）如，在液壓係統的精密（mì）閥芯和閥套加工中，低粗糙（cāo）度（dù）的表（biǎo）麵能夠有效防止油液泄漏，保證（zhèng）液壓係統的準確控（kòng）製。

對於一些光學（xué）零件，如高精（jīng）度透鏡、反射鏡等，表麵粗糙（cāo）度要求更為嚴格，可以達到級。這是因為光學零件表（biǎo）麵的微小粗糙度會影響光線的反射和折射，從而光學（xué）係統的成像質量。例（lì）如，在（zài）光刻機的光學鏡片加工中（zhōng），表麵粗糙度必須（xū）控製在極低水平，以確（què）保芯（xīn）片製造過程中的（de）高精度光刻成像。

表麵紋理（lǐ）要求

精密零（líng）件表麵紋理需要（yào）具有良好的一致性和方向（xiàng）性。在一些需要良好密封性能的零件中，如（rú）汽車發動機的（de）氣缸（gāng）墊，其表麵紋理應設計（jì）為有利於密封的形式（shì），通常是細密且均勻分布的紋理，這樣可（kě）以增加密封接觸麵積（jī），提高密封。

對於有相對運動的精密零件，如高速軸承的內外圈和滾動體，其表麵紋理方向應與運動方向相適應，以減小運動阻力和磨損。例如（rú），通過精密磨削加工（gōng），使軸承滾動體表麵紋理呈圓周方向，能夠（gòu）保證（zhèng）滾動體在高速旋轉過程中更加順暢，並（bìng）且能夠（gòu）均勻地分布潤滑脂，延長軸承的使用。

表麵殘餘應力要求

精密零件加工後，表麵（miàn）應盡（jìn）量（liàng）減少殘餘應力。殘餘應力可能導致零件（jiàn）在使用過程中發生變形，影響零件的（de）尺寸精度和（hé）形狀精（jīng）度。例（lì）如，在精密機械（xiè）加工後的（de）金屬零件中（zhōng），如果表麵（miàn）殘餘（yú）應力（lì）過大，當零件受到外部載荷或者溫度變化時，就可能會出現翹曲變形。在航空航天領域的精密鋁合金結構件加工中，必須通過合（hé）適的加（jiā）工和後處理方法來控製表麵殘餘（yú）應力，以確（què）保零件在複雜的飛行環境下的尺寸穩定性。

對於一些承受高應力的精密零件，如（rú）高速切削刀具，表麵殘（cán）餘壓應力是有益的。適當的殘餘壓應力可以提高零件的（de）疲勞強度和（hé）抗裂紋擴展能力。通過表麵噴（pēn）丸、滾壓等可以（yǐ）在零件表麵引入一定的殘餘壓應力，從（cóng）而增強零件的耐用性。

表麵完整性（xìng）要（yào）求

精密零件的表麵應避（bì）免出現加工缺陷，如裂紋（wén）、劃痕等。在（zài）電（diàn）子芯片製造過程中（zhōng）的矽片加（jiā）工，微小的表麵裂紋都（dōu）可能導致芯片性能下降失效。加工過（guò）程中需要通過嚴格（gé）的工藝控製和（hé）質（zhì）量來確保（bǎo）表麵完（wán）整性。

表麵的金相組織也需要符合要求。對於一些經過熱處理的精密零件，如淬火後（hòu）的精密齒輪，其表麵的金相組織應均勻一致，避免出現局部軟點或硬點，以保證齒輪在齧合過程中的強（qiáng）度和耐磨性。